Эксимерный лазер "Эклаз"

Лазеры "Эклаз" используются:

  • в лазерных микротехнологиях (производство изделий микроэлектроники,
    маркировка  материалов);

  • в установках для контроля состояния окружающей среды;

  • в медицине;

  • в научных исследованиях.

Состав лазера:

  • Излучатель

  • Импульсное зарядное устройство

  • Газоочиститель

  • Форвакуумный пост

 

Длина волны излучения 

193 нм

248 нм

Максимальная энергия в импульсе (Еимп)

100 мДж

300 мДж

Максимальная частота следования импульсов 

100 Гц

Максимальная средняя мощность 

5 Вт

20 Вт

Расходимость излучения по уровню 0,5 Еимп 

(0,2×0,4) мрад

Максимальная потребляемая мощность 

3 кВт

Ресурс

1×108 импульсов