|
Эксимерный
лазер "Светлана" |
|
|
|
Электроразрядный
эксимерный KrF- и ArF-лазер "Светлана"
с бестиратронной системой питания,
генерирующий импульсы излучения
в ультрафиолетовом диапазоне спектра, предназначен для
использования
в технологических и
исследовательских целях, а также в
составе установок для контроля
состояния окружающей среды. |
|
|
Лазерная среда |
ArF |
КrF |
Длина волны
излучения, нм |
193 |
248 |
Максимальная
энергия в импульсе, мДж |
250 |
680 |
Максимальная
частота следования импульсов, Гц |
200 |
300 |
Максимальная
средняя мощность, Вт |
40 |
115 |
Длительность
импульса излучения (по
полувысоте), нс |
30 |
33 |
Сечение
светового пучка на выходе из
резонатора, мм |
27x6
|
27x11
|
Стабильность
излучения, % |
2 |
Расходимость
излучения, мрад |
4,0x1,5
|
Максимальная
потребляемая мощность, кВт |
8 |
|
|